The coherence function and its information content for optical metrology
| Autoren: | R.B. Bergmann, A. Fischer, C. Bockelmann, A. Dekorsy, A. Garcia-Ortiz, C. Falldorf |
| Dokumenttyp: | Journal Paper |
| Veröffentlichung: | Mai 2022 |
| Journal: | tm - Technisches Messen |
| Seiten: | 397-412 |
| Volume: | 89 |
| Number: | 6 |
| Dateien: | BibTEX |
Zuletzt aktualisiert am
02.02.2023
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