Scatterometric defect detection of nanowire surfaces: evaluating the effect of sensor position density
| Autoren: | M. Abdollahpour, C. Bockelmann, Tajim Md Hasibur Rahman, Dirk Stöbener, Andreas Fischer |
| Dokumenttyp: | Konferenzbeitrag |
| Veröffentlichung: | Deutschland, 8. August 2025 |
| Konferenz: | SPIE Optical Metrology |
| Dateien: | BibTEX |
Zuletzt aktualisiert am
10.09.2025
von
M. Abdollahpour
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