Compressed Learning for Nanosurface Deficiency Recognition Using Angle-Resolved Scatterometry Data - Arbeitsbereich Nachrichtentechnik

Compressed Learning for Nanosurface Deficiency Recognition Using Angle-Resolved Scatterometry Data

Autoren:

M. Abdollahpour, C. Bockelmann, A. Dekorsy, Tajim Md Hasibur Rahman, Andreas Fischer

Dokumenttyp:

Journal Paper

Veröffentlichung:

Januar 2026

Journal:

IEEE Access

Dateien:

BibT_EX

Zuletzt aktualisiert am 23.01.2026 von M. Abdollahpour

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